Trung Quốc đã bí mật hoàn thành nguyên mẫu máy quang khắc EUV đầu tiên sản xuất trong nước, đánh dấu bước đột phá công nghệ mà Washington đã cố gắng ngăn chặn trong nhiều năm qua. Reuters tiết lộ nguyên mẫu này được xây dựng chủ yếu dựa vào đội ngũ cựu kỹ sư từ gã khổng lồ bán dẫn Hà Lan ASML cùng với linh kiện tận dụng từ các máy cũ, hiện đang trong giai đoạn thử nghiệm tại một phòng thí nghiệm bảo mật cao ở Thâm Quyến.

Nguyên mẫu được hoàn thành vào đầu năm 2025 và chiếm gần như toàn bộ sàn nhà máy. Theo hai nguồn tin am hiểu dự án, máy hiện đang hoạt động và tạo ra ánh sáng cực tím thành công, tuy nhiên chưa sản xuất được chip. Chính phủ Trung Quốc đặt mục tiêu sản xuất chip trên nguyên mẫu này vào năm 2028, nhưng những người gần dự án cho rằng mục tiêu thực tế hơn là năm 2030 - vẫn sớm hơn nhiều năm so với một thập kỷ mà các nhà phân tích từng dự đoán.

Trung Quốc đã chạm một tay đến cỗ máy quang khắc EUV

Sự tồn tại của nguyên mẫu này cho thấy Trung Quốc gần hơn nhiều với mục tiêu tự chủ bán dẫn so với dự đoán. Chỉ vào tháng 4 năm nay, CEO ASML Christophe Fouquet từng khẳng định Trung Quốc sẽ cần "rất rất nhiều năm" để phát triển công nghệ này, nhưng thực tế đã chứng minh nhận định đó quá lạc quan từ góc độ phương Tây.

Chìa khóa cho bước đột phá nằm ở việc Trung Quốc thành công trong chiến dịch săn lùng nhân tài từ ASML. Nguyên mẫu được xây bởi đội ngũ cựu kỹ sư ASML đã nghỉ hưu gần đây, những người sinh ra ở Trung Quốc và sở hữu kiến thức kỹ thuật nhạy cảm. Họ đã thực hiện kỹ thuật đảo ngược các máy EUV của ASML - công việc gần như bất khả thi nếu thiếu kiến thức thân thiết về công nghệ này.

Một kỹ sư Trung Quốc kỳ cựu từ ASML được tuyển dụng vào dự án đã ngạc nhiên khi nhận được thẻ căn cước dưới tên giả cùng khoản thưởng ký hợp đồng hậu hĩnh. Bên trong cơ sở bảo mật, ông nhận ra các đồng nghiệp cũ từ ASML cũng đang làm việc dưới bí danh và được hướng dẫn sử dụng tên giả để duy trì bí mật tuyệt đối. Được phân loại theo an ninh quốc gia, không ai bên ngoài khu vực được biết họ đang xây dựng gì.

Chiến dịch tuyển dụng này được Trung Quốc khởi động từ năm 2019 với mức thưởng ký hợp đồng từ 3 đến 5 triệu nhân dân tệ (420.000 đến 700.000 USD) cùng trợ cấp mua nhà. Hai nhân viên ASML hiện tại có quốc tịch Trung Quốc đang làm việc tại Hà Lan cho biết họ bị các nhà tuyển dụng từ Huawei tiếp cận từ ít nhất năm 2020. Một số công dân nhập tịch các nước khác thậm chí được cấp hộ chiếu Trung Quốc và duy trì quốc tịch kép, mặc dù Trung Quốc chính thức cấm điều này.

Nhiều cựu nhân viên và thiết bị cũ của ASML đã được huy động cho dự án này

Bên cạnh nguồn nhân lực, Trung Quốc còn tận dụng linh kiện từ các máy ASML cũ thông qua thị trường đã qua sử dụng. Các nguồn tin cho biết Trung Quốc đang thu gom bộ phận từ máy ASML cũ và mua linh kiện từ nhà cung cấp ASML qua các kênh secondhand, đôi khi dùng mạng lưới công ty trung gian để che giấu người mua cuối cùng. Ngay cả linh kiện bị hạn chế xuất khẩu từ Nikon và Canon của Nhật Bản cũng đang được sử dụng cho nguyên mẫu. Các ngân hàng quốc tế thường xuyên đấu giá thiết bị chế tạo bán dẫn cũ, và tại Trung Quốc, thiết bị quang khắc ASML cũ được bán qua Alibaba Auction gần đây nhất vào tháng 10/2025.

Một đội ngũ khoảng 100 sinh viên tốt nghiệp đại học tập trung vào kỹ thuật đảo ngược các linh kiện từ cả máy EUV và DUV. Bàn làm việc của mỗi người được ghi hình bằng camera riêng để ghi lại quá trình tháo rời và lắp lại linh kiện - công việc then chốt cho nỗ lực quang khắc của Trung Quốc. Nhân viên lắp lại thành công một linh kiện sẽ nhận tiền thưởng.

Dự án này là đỉnh cao của sáng kiến chính phủ kéo dài sáu năm nhằm đạt tự chủ bán dẫn, một trong những ưu tiên cao nhất của Chủ tịch Tập Cận Bình. Mặc dù mục tiêu bán dẫn của Trung Quốc được công khai, dự án EUV ở Thâm Quyến lại được tiến hành hoàn toàn bí mật dưới sự điều hành của Đinh Học Tường - người thân tín của ông Tập và đứng đầu Ủy ban Khoa học và Công nghệ Trung ương của Đảng Cộng sản.

Cỗ máy quang khắc EUV khổng lồ của ASML

Huawei đóng vai trò chính trong việc điều phối mạng lưới các công ty và viện nghiên cứu nhà nước với hàng ngàn kỹ sư tham gia. CEO Ren Zhengfei thậm chí trực tiếp báo cáo tiến độ cho lãnh đạo cấp cao Trung Quốc. Những người am hiểu dự án mô tả nó là phiên bản Trung Quốc của Dự án Manhattan - dự án phát triển bom nguyên tử thời chiến của Mỹ. Mục đích cuối cùng là Trung Quốc có thể sản xuất chip tiên tiến trên các máy hoàn toàn made in China và đẩy Mỹ hoàn toàn ra khỏi chuỗi cung ứng.

Máy quang khắc EUV là trung tâm của cuộc Chiến tranh Lạnh công nghệ hiện nay. Chúng sử dụng chùm ánh sáng cực tím để khắc các mạch điện mỏng hơn sợi tóc hàng ngàn lần lên tấm silicon - khả năng hiện bị phương Tây độc quyền. Mạch càng nhỏ, chip càng mạnh, và những chip này cung cấp năng lượng cho trí tuệ nhân tạo, smartphone cũng như vũ khí quan trọng cho ưu thế quân sự phương Tây.

Đến nay, chỉ ASML - công ty có trụ sở tại Hà Lan - làm chủ công nghệ EUV với máy trị giá khoảng 250 triệu USD. Từ năm 2018, Mỹ bắt đầu gây áp lực Hà Lan chặn ASML bán máy EUV cho Trung Quốc, và các hạn chế được mở rộng vào năm 2022 khi chính quyền Biden áp đặt kiểm soát xuất khẩu toàn diện. ASML xác nhận chưa có hệ thống EUV nào từng được bán cho khách hàng Trung Quốc.

Tuy nhiên, Trung Quốc vẫn đối mặt nhiều thách thức kỹ thuật lớn, đặc biệt là việc nhân bản các hệ thống quang học chính xác mà các nhà cung cấp phương Tây sản xuất. Nguyên mẫu hiện tại vẫn thô sơ so với máy của ASML nhưng đủ hoạt động để thử nghiệm. Jeff Koch, nhà phân tích tại SemiAnalysis và cựu kỹ sư ASML, nhận định Trung Quốc sẽ đạt "tiến bộ có ý nghĩa" nếu nguồn sáng đủ công suất, đáng tin cậy và không tạo quá nhiều contamination. Ông khẳng định điều này hoàn toàn khả thi về mặt kỹ thuật, chỉ là vấn đề thời gian, và Trung Quốc có lợi thế là công nghệ EUV thương mại hiện đã tồn tại nên họ không phải bắt đầu từ con số không.